[发明专利]机台降温装置和方法在审
| 申请号： | 202110994826.4 | 申请日： | 2021-08-27 |
| 公开（公告）号： | CN113847817A | 公开（公告）日： | 2021-12-28 |
| 发明（设计）人： | 张福庭;王志峰;徐悠和;张智文;徐尚 | 申请（专利权）人： | 日月光半导体制造股份有限公司 |
| 主分类号： | F27D9/00 | 分类号： | F27D9/00;F27D19/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京德恒律治知识产权代理有限公司 11409 | 代理人： | 章社杲;李伟 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种机台降温装置和方法。该机台降温装置包括：进水管，连接到机台的进水口；回水管，连接到机台的出水口；跨接管，跨接在进水管与回水管之间，其中，制程冷却水的一部分通过进水管和进水口以流入机台进行降温并形成高温回水，高温回水通过出水口流入回水管，制程冷却水的另一部分通过进水管和跨接管流入回水管与高温回水混合。 | ||
| 搜索关键词： | 机台 降温 装置 方法 | ||
【主权项】：
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