[发明专利]辐射设备及其操作方法、计算机程序产品和物体固持器在审
| 申请号： | 202110973468.9 | 申请日： | 2021-08-24 |
| 公开（公告）号： | CN114121580A | 公开（公告）日： | 2022-03-01 |
| 发明（设计）人： | A.奥科夫斯基 | 申请（专利权）人： | 卡尔蔡司显微镜有限责任公司 |
| 主分类号： | H01J37/28 | 分类号： | H01J37/28;H01J37/26;H01J37/20;B23K26/14;B23K26/36;B23K26/362;B23K26/70;B23K37/04;G01N23/04;G01N23/20;G01N23/20091;G01N23/2209;G01N23/2251 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 王蕊瑞 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于操作辐射设备、尤其是粒子辐射设备和/或激光辐射设备的方法。此外，本发明还涉及一种计算机程序产品和一种用于执行该方法的辐射设备。此外，本发明还涉及一种用于物体的物体固持器。例如，物体固持器能够布置在粒子辐射设备中。根据本发明的方法包括以下步骤：使用激光射束装置的激光射束和/或利用粒子辐射设备的粒子射束在物体固持器上产生标记，其中，粒子射束具有带电粒子；将物体布置在物体固持器上；使物体固持器运动；使用标记相对于物体相对定位粒子射束和/或激光射束；以及利用粒子射束和/或激光射束处理、成像和/或分析物体。 | ||
| 搜索关键词： | 辐射 设备 及其 操作方法 计算机 程序 产品 物体 固持器 | ||
【主权项】：
暂无信息
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