[发明专利]一种抑制动态干涉仪中波片延迟误差干扰的方法有效
| 申请号： | 202110952404.0 | 申请日： | 2021-08-19 |
| 公开（公告）号： | CN113405489B | 公开（公告）日： | 2021-11-02 |
| 发明（设计）人： | 陶春 | 申请（专利权）人： | 南京施密特光学仪器有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/25 | 分类号： | G01B11/25 |
| 代理公司： | 苏州科权知识产权代理事务所(普通合伙) 32561 | 代理人： | 卢平 |
| 地址： | 211212 江苏省南京*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种抑制动态干涉仪中波片延迟误差干扰的方法，其涉及光干涉计量技术领域，旨在解决软件归一化过程本身势必会干扰到正常相位的结果，造成测量结果不精确的问题，其技术方案要点是实验准备，将标准值内的二分之一波片和四分之一波片安装在动态干涉仪内部，放置待测件，调整动态干涉仪，使得相机采集的四幅干涉图呈密集条纹分布，灰度平均值计算，计算四幅图像灰度平均值的均方根值，并多次计算保证整体获得最佳值，调节测算，手动或者通过电机自动旋转调节二分之一波片，并实时计算图像灰度平均值的均方根值，当该值小于设定阈值时，停止调整二分之一波片。达到了多降低误差、多次测算取平均值和方便调节的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 抑制 动态 干涉仪 中波 延迟 误差 干扰 方法 | ||
【主权项】：
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