[发明专利]工件旋转镀膜温度检测装置在审
| 申请号： | 202110897347.0 | 申请日： | 2021-08-05 |
| 公开（公告）号： | CN113670461A | 公开（公告）日： | 2021-11-19 |
| 发明（设计）人： | 胡健;陈成;屈建国 | 申请（专利权）人： | 深圳市金洲精工科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01K7/16 | 分类号： | G01K7/16;G01K1/024;C23C14/54 |
| 代理公司： | 深圳中一联合知识产权代理有限公司 44414 | 代理人： | 张全文 |
| 地址： | 518000 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了一种工件旋转镀膜温度检测装置，包括：真空镀膜室；测试平台，测试平台可转动设置于真空镀膜室；测试套筒，用于模拟待测工件，测试套筒设置于测试平台上并与测试平台欧姆接触；热电阻，热电阻设置于测试套筒的内部，且热电阻的外部设置有金属外壳，热电阻通过金属外壳与测试套筒欧姆接触；防缠结组件，防缠结组件与热电阻的引出线缆连接；信号传输组件，信号传输组件与引出线缆电连接；以及显示器，显示器与信号传输组件电连接。本方案解决了现有测温技术精度低及无法实现旋转工件温度实时检测的问题，为沉积温度敏感涂层以及在温度敏感的基体材料上制备涂层提供了保障，检测出的温度即真实、稳定又实时。 | ||
| 搜索关键词： | 工件 旋转 镀膜 温度 检测 装置 | ||
【主权项】：
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