[发明专利]一种集成表面等离激元谐振器的红外探测器在审
申请号: | 202110796817.4 | 申请日: | 2021-07-14 |
公开(公告)号: | CN113624348A | 公开(公告)日: | 2021-11-09 |
发明(设计)人: | 梁中翥;于海洪;徐海阳 | 申请(专利权)人: | 东北师范大学 |
主分类号: | G01J5/20 | 分类号: | G01J5/20;G01J5/58;G01J5/02 |
代理公司: | 长春市东师专利事务所 22202 | 代理人: | 张铁生;刘延军 |
地址: | 130024 吉林*** | 国省代码: | 吉林;22 |
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摘要: | 本发明公开了一种集成表面等离激元谐振器的红外探测器,它包括:等离激元谐振器、热敏电阻层,支撑层,谐振腔;它还包括吸收层和/或金属反射层;等离激元谐振器、热敏电阻层和支撑层以多种叠加排列方式置于谐振腔上;并对表面等离激元谐振器进行了表面图形化阵列;采用不同材质的各层,可获得不同的吸收率及效果,以满足不同需求;表面图形化阵列的等离激元谐振器可以在长波红外的宽谱范围内提高红外焦平面的吸收率,由于金属谐振器的占空比很小且厚度很薄,焦平面整体的热容几乎没有提高,因此可以有效提高焦平面的性能,并实现更丰富的探测功能。 | ||
搜索关键词: | 一种 集成 表面 离激元 谐振器 红外探测器 | ||
【主权项】:
暂无信息
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