[发明专利]一种光斑监控方法、系统、暗场缺陷检测设备和存储介质有效
| 申请号： | 202110759440.5 | 申请日： | 2021-07-06 |
| 公开（公告）号： | CN113256630B | 公开（公告）日： | 2021-11-26 |
| 发明（设计）人： | 陈鲁;吕肃;方一;黄有为;张嵩 | 申请（专利权）人： | 深圳中科飞测科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G06T7/00 | 分类号： | G06T7/00;G06T7/70;G06T5/00;G06T7/13 |
| 代理公司： | 深圳鼎合诚知识产权代理有限公司 44281 | 代理人： | 刘兆;彭家恩 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市龙华区大浪街*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供的光斑监控方法、系统、暗场缺陷检测设备和存储介质，通过获取光斑图像，进而检测光斑图像上多列检测点的光强表征量，其中，同一列的各个检测点沿所述光斑的宽度方向排布，各列检测点沿所述光斑的长度方向排布；根据各个检测点的位置及其光强表征量得到光斑形变的量化指标，光斑形变包括离焦、均匀性和偏转中的至少一个。可见本发明实现了光斑形变成因的量化，有利于协助进行后续的光路调整和变量分析，自动化程度提高了。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光斑 监控 方法 系统 暗场 缺陷 检测 设备 存储 介质 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳中科飞测科技股份有限公司，未经深圳中科飞测科技股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110759440.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
