[发明专利]一种靶材的烧结方法在审
| 申请号： | 202110745058.9 | 申请日： | 2021-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN113372124A | 公开（公告）日： | 2021-09-10 |
| 发明（设计）人： | 周昭宇;周志宏;肖世洪;雷雨;汪政军 | 申请（专利权）人： | 广州市尤特新材料有限公司 |
| 主分类号： | C04B35/64 | 分类号： | C04B35/64;C04B35/622 |
| 代理公司： | 广州永华专利代理有限公司 44478 | 代理人： | 劳觅 |
| 地址： | 510880 广东省广州*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种靶材的烧结方法，采用球形颗粒状的氧化铝粉作为辅助滑动粉，把靶材放置在球形颗粒状的氧化铝上进行烧结，相比放置在不规则形状的氧化铝粉上进行烧结，即使靶材生坯重量较大，收缩时该氧化铝粉也更容易发生滚动，将靶材与承烧板之间的接触摩擦力转变为滚动摩擦力，减小靶材生坯收缩时产生的摩擦阻力，防止由摩擦阻力导致的靶材不规则变形和开裂。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 烧结 方法 | ||
【主权项】：
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