[发明专利]一种兼容性ITO蚀刻液及制备方法有效
| 申请号： | 202110708889.9 | 申请日： | 2021-06-25 |
| 公开（公告）号： | CN113322072B | 公开（公告）日： | 2022-06-03 |
| 发明（设计）人： | 戈烨铭;何珂;汤晓春 | 申请（专利权）人： | 江阴润玛电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C09K13/08 | 分类号： | C09K13/08;C09K13/04;C09K13/06 |
| 代理公司： | 江阴市扬子专利代理事务所(普通合伙) 32309 | 代理人： | 苏玲 |
| 地址： | 214423 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种兼容性ITO蚀刻液及制备方法，其蚀刻液的原料按重量百分比计算，包括硝酸10%～30%、硫酸10%～20%、金属盐1%~10%、铵盐0.5%‑3%，余量为纯水；依次加入硝酸、纯水、金属盐、铵盐后充分搅拌、混合均匀，再往混合均匀的硝酸、纯水、金属盐、铵盐的混合物中缓慢加入硫酸，充分搅拌混合均匀得到兼容性ITO蚀刻液。本发明的兼容性ITO蚀刻液适用于不同厚度的ITO膜层，且反应温和稳定，蚀刻精度高。针对不同厚度的膜层，只需调整蚀刻时间即可达到蚀刻的目的，无需更换蚀刻液成分以及调整蚀刻液成分含量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 兼容性 ito 蚀刻 制备 方法 | ||
【主权项】：
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