[发明专利]一种旋转靶材的生产方法及装置在审
| 申请号： | 202110707673.0 | 申请日： | 2021-06-24 |
| 公开（公告）号： | CN113500182A | 公开（公告）日： | 2021-10-15 |
| 发明（设计）人： | 余飞;黄宇彬;文崇斌;阿南·辛格·迪欧达特;周荣艳;童培云;朱刘 | 申请（专利权）人： | 先导薄膜材料有限公司 |
| 主分类号： | B22D19/00 | 分类号： | B22D19/00;B22D27/08;B22D27/04;B22D43/00 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 颜希文;宋亚楠 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明涉及旋转靶材制备技术领域，公开了一种旋转靶材的生产方法及装置，其包括以下步骤：将背管竖直安装在外模的腔体内；其中，所述背管的底端通过下延长件与所述腔体底壁连接；所述背管的顶部连接有上延长件；所述背管、所述上延长件和所述下延长件均与所述腔体形成环形腔室；往所述环形腔室内浇注熔融的金属液体；转动所述外模、所述背管、所述上延长件和所述下延长件；往所述背管内注入冷却水，通过控制所述冷却水的流量及排水时间，调整金属液体的冷却速率；待金属液体冷却成固体金属后，脱去所述外模；切去所述固体金属的两端。本发明提供的旋转靶材的生产方法及装置能制造出长度较长、晶粒较小的旋转靶材。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 旋转 生产 方法 装置 | ||
【主权项】：
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