[发明专利]一种石墨烯非晶氧化镓薄膜的日盲紫外探测器

摘要

本发明公开了一种石墨烯非晶氧化镓薄膜的日盲紫外探测器及其制备方法，可实现对波长小于280nm的日盲紫外光的有效探测，广泛应用于杀菌消毒紫外线监测、高压电弧紫外线监测以及电气火灾紫外线监测等领域。探测器以聚酰亚胺薄膜为衬底，通过激光诱导在衬底上原位制备石墨烯电极，然后通过磁控溅射法在石墨烯电极上方沉积一层非晶氧化镓薄膜，作为光探测材料，最后将衬底集成在PCB电路板上，其中，石墨烯电极嵌入于聚酰亚胺薄膜衬底中，与衬底结合紧密；非晶氧化镓薄膜位于石墨烯电极上方，石墨烯电极形状可以任意设计，并通过激光诱导原位生成，不需要掩膜版、光刻、刻蚀等复杂工艺，工艺简单，成本低，适合大规模量产。