[发明专利]用于长晶炉的溶液移除装置及其移除方法、长晶炉和溶液移除方法在审
申请号: | 202110681142.9 | 申请日: | 2021-06-19 |
公开(公告)号: | CN113430638A | 公开(公告)日: | 2021-09-24 |
发明(设计)人: | 黎志欣;胡动力 | 申请(专利权)人: | 连城凯克斯科技有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B29/06 |
代理公司: | 南昌逸辰知识产权代理事务所(普通合伙) 36145 | 代理人: | 刘林艳 |
地址: | 214000 江苏省无锡*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种用于长晶炉的溶液移除装置及其移除方法,长晶炉包括主室,主室内容纳有承载溶液的坩埚,溶液移除装置包括:吸附装置,吸附装置设置在坩埚上方,并可相对于坩埚升降,吸附装置包括具有吸附能力的耐高温无污染的吸附材料,吸附材料能对坩埚中的溶液进行吸附,使得溶液作为附着物附着在吸附材料上。通过直接吸附的方法,将溶液吸附在吸附材料上,从而有效的将富含大量杂质的溶液移除,提升后续晶棒的品质,且该装置操作简单方便,可有效提高效率,节省人力和时间成本。 | ||
搜索关键词: | 用于 长晶炉 溶液 装置 及其 方法 | ||
【主权项】:
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