[发明专利]检测方法及检测设备在审
| 申请号： | 202110644261.7 | 申请日： | 2021-06-09 |
| 公开（公告）号： | CN113376180A | 公开（公告）日： | 2021-09-10 |
| 发明（设计）人： | 陈鲁;王天民;张嵩 | 申请（专利权）人： | 深圳中科飞测科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/956 | 分类号： | G01N21/956;G01N21/01 |
| 代理公司： | 深圳市沈合专利代理事务所(特殊普通合伙) 44373 | 代理人： | 蔡燕翔 |
| 地址： | 518109 广东省深圳市龙华区大浪街*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种检测方法。检测方法用于检测工件的位置偏差，工件形成有第一标记及第二标记，检测方法包括：利用成像装置对准第一标记的目标物理位置，采集包括第一标记的图像为第一图像；驱动成像装置与工件中的至少一个运动，以使成像装置对准第二标记的目标物理位置；利用成像装置采集包括第二标记的图像为第二图像；及依据第一图像与第二图像检测工件的位置偏差。本申请还公开了一种检测设备。无论工件的第一标记与第二标记如何分布，都能够通过成像装置采集图像，然后检测工件的位置偏差，使得运用检测方法的检测设备能够适用多种元件的检测需求。 | ||
| 搜索关键词： | 检测 方法 设备 | ||
【主权项】：
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