[发明专利]一种新型IGZO气氛预热烧结炉有效
| 申请号： | 202110604051.5 | 申请日： | 2021-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN113465393B | 公开（公告）日： | 2022-10-21 |
| 发明（设计）人： | 骆树立;李庆丰;王建堂;骆如河;骆胜华;骆胜磊;骆利军;王壮伟;骆胜凯;骆胜喜 | 申请（专利权）人： | 河北恒博新材料科技股份有限公司 |
| 主分类号： | F27D7/06 | 分类号： | F27D7/06;F27D11/00;F27D17/00 |
| 代理公司： | 石家庄众志华清知识产权事务所(特殊普通合伙) 13123 | 代理人： | 周胜欣 |
| 地址： | 057250 *** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种新型IGZO气氛预热烧结炉，通过在烧结炉内加入预热管道，对烧结气氛进行炉内预热；并且通过改造预热管道出气口的安装位置以及安装方式，可以使炉内气氛均匀流动，避免气流对靶材的冲击，同时，还能够降低炉内温差，有效地保证了IGZO靶材的烧结温度区间，在保证电导率的同时使得靶材的密度和晶粒尺寸更均匀，提高了靶材的稳定性和均匀性，降低烧结时间，节约能源，提高了靶材的成材率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 igzo 气氛 预热 烧结炉 | ||
【主权项】：
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