[发明专利]解理装置、解理设备和解理方法有效
| 申请号： | 202110591877.2 | 申请日： | 2021-05-28 |
| 公开（公告）号： | CN113418760B | 公开（公告）日： | 2022-09-13 |
| 发明（设计）人： | 李渊;毛寒青 | 申请（专利权）人： | 中国科学院物理研究所 |
| 主分类号： | G01N1/28 | 分类号： | G01N1/28;G01N1/42;G01N23/2202;G01Q30/20;B28D5/00 |
| 代理公司： | 北京泛华伟业知识产权代理有限公司 11280 | 代理人： | 胡强 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及解理装置、解理设备和解理方法。解理装置包括：壳体，形成有能构建超高真空环境的腔体，所述腔体内设有传样通道，所述壳体适于浸没在冷却流体中；解理组件，设置在所述腔体内并能在所述传样通道的下方运动以靠近或远离所述传样通道；其中，所述腔体还适于容纳测试装置。本发明能实现从解理到测试的全程低温环境。 | ||
| 搜索关键词： | 解理 装置 设备 方法 | ||
【主权项】：
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