[发明专利]一种动态可控超宽幅高频响离子源调控方法有效
| 申请号： | 202110565566.9 | 申请日： | 2021-05-24 |
| 公开（公告）号： | CN113182944B | 公开（公告）日： | 2023-08-15 |
| 发明（设计）人： | 田野;石峰;周光奇;宋辞;铁贵鹏;周港 | 申请（专利权）人： | 中国人民解放军国防科技大学 |
| 主分类号： | B24B1/00 | 分类号： | B24B1/00;B24B13/00;B24B49/00;G06F17/10 |
| 代理公司： | 湖南兆弘专利事务所(普通合伙) 43008 | 代理人： | 谭武艺 |
| 地址： | 410073 湖南*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种动态可控超宽幅高频响离子源调控方法，包括在迭代加工时进行离子束加工驻留时间解算；根据驻留时间结算结果选择机床合适的运动轴速度V；根据光学元件初始的面形误差、运动轴速度V动态解算离子源的工艺参数，并生成对应的数控程序对光学元件进行加工。本发明能够实时调控离子束抛光的去除函数，不仅能够提升离子束抛光的精度和效率，同时还可以降低对机床运动系统的需求以及损伤层深度，可用于高精度修形、质量修调以及光学元件表面特性调控等领域，具有高精度和效率兼备、调节的范围广、可操作性强、经济实用性强、应用前景广阔等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 动态 可控 宽幅 高频 离子源 调控 方法 | ||
【主权项】：
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