[发明专利]锍盐、光产酸剂及感光性组合物有效
| 申请号： | 202110562785.1 | 申请日： | 2015-09-25 |
| 公开（公告）号： | CN113264856B | 公开（公告）日： | 2022-11-22 |
| 发明（设计）人： | 盐田大;野田国宏;千坂博树 | 申请（专利权）人： | 东京应化工业株式会社 |
| 主分类号： | C07C321/30 | 分类号： | C07C321/30;G03F7/004 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 杨宏军;罗小亮 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本申请涉及锍盐、光产酸剂及感光性组合物。本发明提供对活性能量射线的敏感度高的新型锍盐、由该锍盐形成的光产酸剂、及含有该光产酸剂的感光性组合物。本发明涉及的锍盐由式(a1)表示。式中，R |
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| 搜索关键词： | 锍盐 光产酸剂 感光性 组合 | ||
【主权项】：
暂无信息
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