[发明专利]基于纳米管复合结构的自驱动宽波段光电探测器

摘要

本发明提供了一种基于纳米管复合结构的自驱动宽波段光电探测器，旨在利用纳米管复合结构所具有的优越性能，开发研制一种结构简单、制作方便、具有自驱动和宽波段响应特点的光电探测器，该光电探测器不需要外接电压即可工作，光谱响应范围覆盖从可见光到中红外的超宽波段。其包括自下而上依次层叠设置的金属基底、电子传输层、半透明光电转换层；其中，金属基底作为光电探测器的下电极；半透明光电转换层作为光电探测器的上电极，采用碳纳米管薄膜；电子传输层采用二氧化钛纳米管阵列；所述上电极依次通过上电极引线、电信号检测设备以及下电极引线与下电极构成回路；且上电极与上电极引线连接的区域下方设置有绝缘层。