[发明专利]一种透明材料上下表面缺陷的检测方法及设备在审
| 申请号： | 202110495548.8 | 申请日： | 2021-05-07 |
| 公开（公告）号： | CN113340920A | 公开（公告）日： | 2021-09-03 |
| 发明（设计）人： | 王雷;欧昌东;郑增强 | 申请（专利权）人： | 武汉精测电子集团股份有限公司;武汉精立电子技术有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/958 | 分类号： | G01N21/958;G01N21/94 |
| 代理公司： | 武汉智权专利代理事务所(特殊普通合伙) 42225 | 代理人： | 张凯 |
| 地址： | 430205 湖北省武*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种透明材料上下表面缺陷的检测方法及设备，涉及AOI的外观检测领域，该方法包括以下步骤：使用设置在透明材料上方的检测装置直接检测所述透明材料的上表面缺陷。使用所述检测装置对设置在所述透明材料下方的反射镜中的透明材料下表面的成像进行对焦，以检测所述透明材料的下表面缺陷。本发明不用翻转产品即可进行上下表面缺陷检测，且不受镜头景深和透明材料厚度限制而影响检出。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 透明 材料 上下 表面 缺陷 检测 方法 设备 | ||
【主权项】：
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