[发明专利]一种纳米金颗粒修饰的伪MOS生化分子传感器及其制备方法有效
| 申请号： | 202110490876.9 | 申请日： | 2021-05-06 |
| 公开（公告）号： | CN113311047B | 公开（公告）日： | 2022-06-21 |
| 发明（设计）人： | 万景;王海华 | 申请（专利权）人： | 复旦大学 |
| 主分类号： | G01N27/414 | 分类号： | G01N27/414 |
| 代理公司： | 上海正旦专利代理有限公司 31200 | 代理人： | 陆飞;陆尤 |
| 地址： | 200433 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明属于半导体器件技术领域，具体为一种纳米金颗粒修饰的伪MOS生化分子传感器及其制备方法。本发明的伪MOS生化分子传感器包括衬底、氧化埋层、沟道、纳米金颗粒、生物分子或化学分子；衬底、氧化埋层和沟道共同组成伪MOS结构；纳米金颗粒通过电子束蒸发镀膜工艺修饰在伪MOS结构沟道表面，作为伪MOS结构沟道与生化分子或化学分子之间的“linker”，从而更好地固载生化分子，提高生化分子传感器的检测性能。本发明生化分子传感器可用于核酸、蛋白、酶等各种生物分子，以及无机小分子和有机小分子等的灵敏和超灵敏检测。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 纳米 颗粒 修饰 mos 生化 分子 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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