[发明专利]一种水下双束脉冲激光诱导冲击波清洗微纳米颗粒方法在审
| 申请号： | 202110482169.5 | 申请日： | 2021-04-30 |
| 公开（公告）号： | CN113058935A | 公开（公告）日： | 2021-07-02 |
| 发明（设计）人： | 范丽莎;姚建华;张群莉;张硕文 | 申请（专利权）人： | 浙江工业大学 |
| 主分类号： | B08B7/00 | 分类号： | B08B7/00;B08B13/00 |
| 代理公司： | 杭州斯可睿专利事务所有限公司 33241 | 代理人： | 王利强 |
| 地址： | 310014 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种水下双束脉冲激光诱导冲击波清洗微纳米颗粒方法，包括以下步骤：1)，将待清洗基板固定在三维移动平台上，将第一脉冲激光束和第二脉冲激光束聚焦到水箱内同一点，移动三维移动平台使待清洗基板表面位于双束脉冲激光聚焦点正上方；2)，利用第一脉冲激光束和第二脉冲激光束聚焦在待清洗基板表面上方诱导液体击穿产生等离子体冲击波，在冲击波去除力的作用下，待清洗基板表面上的微纳米颗粒污染物从待清洗基板表面飞离。本发明提供一种水下双束脉冲激光诱导冲击波清洗微纳米颗粒方法，能有效提高基板的清洗面积与清洗效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 水下 脉冲 激光 诱导 冲击波 清洗 纳米 颗粒 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于浙江工业大学，未经浙江工业大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110482169.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
