[发明专利]一种大面积铜铟镓硒电池组件生产装置及其方法

摘要

本发明涉及薄膜太阳能电池技术领域，尤其涉及一种大面积铜铟镓硒电池组件生产装置及其方法，包括沿送料方向依次设置的钼层印刷组件、中间转运组件、三靶溅射组件及硒化组件；钼层印刷组件、中间转运组件、三靶溅射组件及硒化组件分别设置有第一遮挡部、第二遮挡部、第三遮挡部，本发明利用三靶磁控溅射组件制备铜铟镓硒薄膜快速的原理，在制作过程中通过对目标区域进行遮挡，在薄膜制备过程中将刻线预先预留出来，从而减小消除翻边和崩边现象，因此大大减小了刻划后的组件功率损失，并且加工效率高，生产成本低，另外本发明的零部件连接可靠使用寿命长，因此降低了设备的维护成本和生产成本。