[发明专利]基于多探针的无光源式近场热辐射扫描显微镜系统有效
| 申请号： | 202110431133.4 | 申请日： | 2021-04-21 |
| 公开（公告）号： | CN113252947B | 公开（公告）日： | 2022-05-03 |
| 发明（设计）人： | 赵长颖;陈杰;王博翔;张文斌;刘旭晶;金圣皓 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | G01Q60/24 | 分类号： | G01Q60/24;G01N25/00 |
| 代理公司： | 上海汉声知识产权代理有限公司 31236 | 代理人： | 胡晶 |
| 地址： | 200240 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种基于多探针的无光源式近场热辐射扫描显微镜系统，涉及近场扫描显微成像技术领域，该方法包括：加热样品台、原子力显微镜、探测器、计算机以及多根探针，原子力显微镜设置在加热样品台上，且原子力显微镜上靠近加热样品台一侧设置有探针，多根探针与加热样品台之间存在间隔，探测器设置在原子力显微镜上，且探测器与计算机之间信号连接。本发明能够有效解决现有近场扫描显微镜对外部激光光源的依赖，很大程度上降低系统的复杂度和成本。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 探针 光源 近场 热辐射 扫描 显微镜 系统 | ||
【主权项】：
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