[发明专利]不溶性阳极及脉冲电镀设备在审
| 申请号： | 202110419695.7 | 申请日： | 2021-04-19 |
| 公开（公告）号： | CN113106527A | 公开（公告）日： | 2021-07-13 |
| 发明（设计）人： | 郑列俭;贺齐群 | 申请（专利权）人： | 深圳市宇开源电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C25D17/12 | 分类号： | C25D17/12;C25D5/18 |
| 代理公司： | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人： | 谢岳鹏 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种不溶性阳极及脉冲电镀设备。本发明的不溶性阳极包括涂层阳极和防护阳极，涂层阳极的表面涂设有活性材料。本发明的不溶性阳极适用于脉冲电镀工艺中，在电镀的过程中，待镀工件放置于防护阳极相对涂层阳极的另一侧，防护阳极与涂层阳极之间存在间隙，此时待镀工件与防护阳极的距离更近，且涂层阳极在防护阳极上的投影位于防护阳极的外边缘的内部，从而防护阳极遮挡住涂层阳极。在倒极过程中，电解液中的铜离子会优先在靠近待镀工件的防护阳极上析出，能够避免涂层阳极上析出铜单质而破坏涂层阳极表面的活性材料，提高涂层阳极的使用寿命，并提升镀铜的均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 不溶性 阳极 脉冲 电镀 设备 | ||
【主权项】：
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