[发明专利]一种晶圆良率问题数据库的搜索方法和装置有效
| 申请号： | 202110407543.5 | 申请日： | 2021-04-15 |
| 公开（公告）号： | CN112988792B | 公开（公告）日： | 2022-05-31 |
| 发明（设计）人： | 徐文丞;易丛文;林孟喆;戴静安 | 申请（专利权）人： | 筏渡（上海）科技有限公司 |
| 主分类号： | G06F16/245 | 分类号： | G06F16/245;G06F16/28;G06F16/248 |
| 代理公司： | 北京亿腾知识产权代理事务所(普通合伙) 11309 | 代理人： | 周良玉 |
| 地址： | 200090 上海市杨浦区长阳*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明实施例提供了一种晶圆良率问题数据库的搜索方法和装置，晶圆良率问题数据库为预先建立的，其中包括多个失效类别及其相关的失效特征和对应的指证性数据，该方法包括：在多个第一晶圆图中确定存在预定的失效模式的若干第二晶圆图；提取第二晶圆图的第一失效特征，据以确定第二晶圆图的第一失效类别；根据第一失效类别和多个失效类别的失效特征的相似度，确定多个失效类别中的若干第二失效类别、以及第一失效类别与第二失效类别的失效特征匹配数量；根据第一失效类别和第二失效类别的指证性数据的相似度，确定第一失效类别与各第二失效类别的指证性数据匹配数量；根据失效特征和指证性数据匹配数量，对若干第二失效类别进行第一排序并展示。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶圆良率 问题 数据库 搜索 方法 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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