[发明专利]一种基于范德堡法的高通量微区电学性能检测系统及检测方法在审
| 申请号： | 202110396661.0 | 申请日： | 2021-04-13 |
| 公开（公告）号： | CN113341196A | 公开（公告）日： | 2021-09-03 |
| 发明（设计）人： | 闫宗楷;刘奕;向勇;王欣全 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | G01R19/00 | 分类号： | G01R19/00;G01R1/073 |
| 代理公司： | 深圳市智享知识产权代理有限公司 44361 | 代理人： | 蔺显俊 |
| 地址： | 610000 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明涉及材料电学性能检测领域，具体涉及一种基于范德堡法的高通量微区电学性能检测系统及检测方法。检测系统包括样品台、检测机构和位置调节机构。样品台用于放置待检测的样品；检测机构具有多根探针，用于利用范德堡法对样品进行检测；位置调节机构用于在检测过程中自动调整探针与样品台的相对位置，以使探针能够对样品的不同微区进行检测。检测方法基于检测系统实现。其能够对高通量的样品进行检测，与高通量实验技术更加匹配，使高通量实验技术实现整体的提速。位置调节机构实现了自动化调节，代替了人工调节，效率大大提高，与高通量检测的匹配度更高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 范德堡法 通量 电学 性能 检测 系统 方法 | ||
【主权项】：
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