[发明专利]一种用于辉光放电质谱仪检测的样品的制备方法在审

专利信息
申请号: 202110395842.1 申请日: 2021-04-13
公开(公告)号: CN115201319A 公开(公告)日: 2022-10-18
发明(设计)人: 谭秀珍;李瑶;李江霖;邓育宁;朱刘 申请(专利权)人: 广东先导稀材股份有限公司
主分类号: G01N27/68 分类号: G01N27/68;G01N1/28
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 杨威
地址: 511878 广东省清*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明提供了一种用于辉光放电质谱仪检测的样品的制备方法,包括以下步骤:a)将待测样品通过PTFE模具与镓结合,得到用于辉光放电质谱仪检测的样品。本发明通过将小尺寸、不规整的块状样品和镓凝固在一起,或将粉末样品压在Ga的表面的制样方法,可以测定样品中的In及除镓以外的其它杂质含量;此方法和In包裹制样的方法互为补充,可以获得样品更全面的杂质信息,同时,和钽勺的制样方法相比,此方法扩宽了可测定的样品尺寸范围,同时也避免了钽勺装载粉末样品时,被仪器抽真空抽走的问题;从而能够同时满足小块状样品和粉末样品的检测要求,并且可用来测定尺寸小于11mm的不规整块状导体、半导体样品和粉末样品中的In及其它杂质含量。
搜索关键词: 一种 用于 辉光 放电 质谱仪 检测 样品 制备 方法
【主权项】:
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