[发明专利]一种毛细管通道制备装置有效
| 申请号： | 202110379381.9 | 申请日： | 2021-04-08 |
| 公开（公告）号： | CN113109915B | 公开（公告）日： | 2022-04-22 |
| 发明（设计）人： | 林晨;杨童;晏炀 | 申请（专利权）人： | 北京大学 |
| 主分类号： | G02B7/04 | 分类号： | G02B7/04 |
| 代理公司： | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人： | 刘凤玲 |
| 地址： | 100871*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种毛细管通道制备装置，包括第二反射镜、第三反射镜、偏振片、扩束系统、光束方向调节系统、分束片、可移动凸透镜、二维电动平行台和激光振荡器，激光振荡器产生的飞秒激光依次经过第二反射镜第三反射镜、偏振片、扩束系统、光束方向调节系统、分束片、可移动凸透镜射入二维电动平行台上的刻蚀样品表面，其中刻蚀样品跟随二维电动平行台共同移动，可移动凸透镜调节自身位置，使得可移动凸透镜的焦点始终位于刻蚀样品的表面，实现对样品材料不同深度刻蚀，从而制备变径、交汇和弯曲的毛细管道。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 毛细管 通道 制备 装置 | ||
【主权项】：
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