[发明专利]一种平面型纳米气体传感器、阵列及其制备方法在审
| 申请号： | 202110378608.8 | 申请日： | 2021-04-08 |
| 公开（公告）号： | CN113092542A | 公开（公告）日： | 2021-07-09 |
| 发明（设计）人： | 范智勇;宋志龙;汤雯颖;陈卓 | 申请（专利权）人： | 香港科技大学深圳研究院 |
| 主分类号： | G01N27/12 | 分类号： | G01N27/12 |
| 代理公司： | 北京方圆嘉禾知识产权代理有限公司 11385 | 代理人： | 冯静 |
| 地址： | 518057 广东省深圳市南山区高新科技*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种平面型纳米气体传感器、阵列及其制备方法，涉及气体传感器技术领域，该气体传感器从顶部到底部依次包括平面传感电极、传感层、电绝缘层及微型加热器；传感层是在双通孔型基底内沉积纳米级传感材料后形成的；双通孔型基底是由多个双通孔型纳米管组成的；双通孔型纳米管为一端和另一端均开口，且一端与另一端连通的纳米管；纳米级传感材料沉积在双通孔型纳米管的管壁上；微型加热器的加热区域与平面传感电极的传感区域在竖直方向上重叠。本发明具有低功耗高性能的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 平面 纳米 气体 传感器 阵列 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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