[发明专利]具有微型加热器的垂直型三维纳米气体传感器及制备方法在审
| 申请号： | 202110377468.2 | 申请日： | 2021-04-08 |
| 公开（公告）号： | CN113092541A | 公开（公告）日： | 2021-07-09 |
| 发明（设计）人： | 范智勇;宋志龙;汤雯颖;陈卓 | 申请（专利权）人： | 香港科技大学深圳研究院 |
| 主分类号： | G01N27/12 | 分类号： | G01N27/12 |
| 代理公司： | 北京方圆嘉禾知识产权代理有限公司 11385 | 代理人： | 冯静 |
| 地址： | 518057 广东省深圳市南山区高新科技*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种具有微型加热器的垂直型三维纳米气体传感器及其制备方法。该气体传感器包括：壳体以及至少一套封装于壳体内部的加热型气体传感组件。该加热型气体传感组件包括：上下通孔型纳米管，内壁上沉积有纳米级气敏材料；传感电极，包括分别生长于上下通孔型纳米管的上表面和下表面的顶部传感电极和底部传感电极，顶部传感电极与底部传感电极具有上下垂直相对的部分，将顶部传感电极与底部传感电极上下垂直相对的部分记为重叠部分；绝缘层，生长于底部传感电极的下表面；微型加热器，生长于绝缘层的下表面，包括加热电极以及与加热电极电连接的发热元件，发热元件与重叠部分上下垂直相对。本发明可实现更低功耗下更高性能的气敏响应。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 微型 加热器 垂直 三维 纳米 气体 传感器 制备 方法 | ||
【主权项】：
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