[发明专利]一种高强度高热导氮化硅陶瓷基板及其制备方法和应用有效
| 申请号： | 202110361923.X | 申请日： | 2021-04-02 |
| 公开（公告）号： | CN113087531B | 公开（公告）日： | 2022-06-14 |
| 发明（设计）人： | 伍尚华;吕东霖;杨平;李建斌 | 申请（专利权）人： | 广东工业大学 |
| 主分类号： | C04B35/596 | 分类号： | C04B35/596;C04B35/81;C04B35/622;H01L23/15 |
| 代理公司： | 深圳市精英专利事务所 44242 | 代理人： | 蒋学超 |
| 地址： | 510000 *** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了一种高强度高热导氮化硅陶瓷基板及其制备方法和应用，涉及陶瓷基板制备技术领域。制备方法包括：对分散剂和溶剂进行球磨处理，得到分散剂溶液；在保持球磨状态下依次向分散剂溶液中加入烧结助剂和氮化硅陶瓷粉体，继续球磨得到稳定悬浮液；向稳定悬浮液中加入增塑剂，在保持球磨状态下分多次向稳定悬浮液中加入粘接剂，继续球磨得到流延浆料；对流延浆料进行脱泡处理；通过流延成型工艺将流延浆料制备为生胚片；将生胚片堆叠后得到初始胚体；依次通过冷等静压工艺、排胶工艺以及烧结工艺将初始胚体制成陶瓷。通过本发明实施例提供的方法能够制备兼具高强度以及高热导的氮化硅陶瓷基板，并且氮化硅陶瓷基板强度的各向异性较小。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 强度 高热 氮化 陶瓷 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
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