[发明专利]流体控制装置在审
申请号: | 202110360803.8 | 申请日: | 2021-04-02 |
公开(公告)号: | CN113513613A | 公开(公告)日: | 2021-10-19 |
发明(设计)人: | 赤土和也 | 申请(专利权)人: | 株式会社堀场STEC |
主分类号: | F16K11/10 | 分类号: | F16K11/10;F16K37/00;H01L21/00 |
代理公司: | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 | 代理人: | 鹿屹;李雪春 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供流体控制装置,包括:块件,沿着长边方向以预定宽度延伸;内部流道,形成在所述块件内,沿着所述长边方向延伸;第一控制阀,安装于所述块件;以及第二控制阀,在所述块件中安装于比所述第一控制阀更靠下游侧,所述内部流道包括:合流后流道,使经过了所述第一控制阀和所述第二控制阀的流体合流并流动;第一流出流道,连接在使流体从所述第一控制阀流出的第一流出口与所述合流后流道之间;第二流出流道,连接在使流体从所述第二控制阀流出的第二流出口与所述合流后流道之间;以及第二流入流道,与使流体流入所述第二控制阀的第二流入口连接,在沿着宽度方向透视所述块件的情况下,所述第一流出流道与所述第二流入流道配置成重叠在一点。 | ||
搜索关键词: | 流体 控制 装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
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