[发明专利]一种超薄电子玻璃基板条纹缺陷的在线检测方法和装置有效
申请号: | 202110352696.4 | 申请日: | 2021-03-31 |
公开(公告)号: | CN113189002B | 公开(公告)日: | 2023-01-13 |
发明(设计)人: | 李淼;杨国洪;王答成;焦宗平 | 申请(专利权)人: | 彩虹显示器件股份有限公司 |
主分类号: | G01N21/01 | 分类号: | G01N21/01;G01N21/958 |
代理公司: | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人: | 房鑫 |
地址: | 712000 陕西省*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 一种超薄电子玻璃基板条纹缺陷的在线检测方法和装置,将格栅图像的光线穿过待测玻璃基板,若光线发生偏折,捕获得到的畸变格栅图;将畸变格栅图与基准格栅图进行叠加运算,形成虚拟摩尔干涉条纹,计算虚拟摩尔干涉条纹的屈光度;基准格栅图由格栅图像的光线穿过无亮暗线条纹的玻璃基板得到;对屈光度绝对值大于或等于阈值的信号进行滤波和增强处理,并按照正屈光度为亮线以及负屈光度为暗线进行划分,实现待测玻璃基板的亮暗线条纹在线测量;根据屈光度将亮暗线条纹缺陷划分成不同严重程度等级,将测量得到的亮暗线条纹对照划分出的严重程度等级进行风险预警或不良管控。本发明能够保证玻璃基板亮暗线条纹缺陷实时在线检测的准确性。 | ||
搜索关键词: | 一种 超薄 电子 玻璃 板条 缺陷 在线 检测 方法 装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
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