[发明专利]基于氢离子刻蚀反应辅助激光刻蚀的金刚石微加工方法在审
| 申请号： | 202110348181.7 | 申请日： | 2021-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN113215554A | 公开（公告）日： | 2021-08-06 |
| 发明（设计）人： | 崔雨潇;马家豪;郭平 | 申请（专利权）人： | 天津职业技术师范大学（中国职业培训指导教师进修中心） |
| 主分类号： | C23C16/56 | 分类号： | C23C16/56;C23C16/27;B23K26/362;B23K26/60 |
| 代理公司： | 天津市北洋有限责任专利代理事务所 12201 | 代理人： | 杜文茹 |
| 地址： | 300222 天*** | 国省代码： | 天津;12 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 一种基于氢离子刻蚀反应辅助激光刻蚀的金刚石微加工方法，包括：对金刚石试样表面进行预处理，去除表面杂质；将激光光束聚焦在预处理后的金刚石试样表面，进行激光辐照处理，将金刚石试样表层金刚石成分诱变为石墨化成分；对经过激光辐照处理的金刚石试样进行氢离子刻蚀反应，将金刚石试样表面经过激光辐照诱变产生的石墨化成分选择性去除，实现对金刚石试样的微加工。本发明通过采用激光对金刚石试件表面进行石墨化诱变，随后采用氢离子刻蚀选择性去除金刚石试件表面激光诱变的石墨化成分，避免了常规激光刻蚀过程中金刚石表面出现杂质残留和破碎崩边等损伤，显著提升了金刚石微加工的质量和精度。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 氢离子 刻蚀 反应 辅助 激光 金刚石 加工 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于天津职业技术师范大学（中国职业培训指导教师进修中心），未经天津职业技术师范大学（中国职业培训指导教师进修中心）许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110348181.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
