[发明专利]一种多功能平面电容式柔性传感器及其制备方法有效
申请号: | 202110347078.0 | 申请日: | 2021-03-31 |
公开(公告)号: | CN113074843B | 公开(公告)日: | 2022-04-12 |
发明(设计)人: | 吴豪;仇裕淇 | 申请(专利权)人: | 华中科技大学 |
主分类号: | G01L1/14 | 分类号: | G01L1/14;G01V3/00 |
代理公司: | 华中科技大学专利中心 42201 | 代理人: | 孔娜 |
地址: | 430074 湖北*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 本发明属于柔性传感器相关技术领域,其公开了一种多功能平面电容式柔性传感器及其制备方法,所述柔性传感器包括自上而下层叠设置的封装层、电极层、基底层及屏蔽层;所述电极层包括至少两个间隔设置的电极,且至少两个该电极相互嵌套设置;所述柔性传感器通过机械形变来测量压应变及拉应变,同时基于电容的边缘效应实现对外部导体的接近感应。本发明对柔性传感器的结构进行了研究及设计,使得所述柔性传感器可以同时实现压应力、拉应力及接近感应的多功能测量,且制备简单,成本较低。 | ||
搜索关键词: | 一种 多功能 平面 电容 柔性 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
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