[发明专利]检测设备及检测方法在审
| 申请号： | 202110327411.1 | 申请日： | 2021-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN113514399A | 公开（公告）日： | 2021-10-19 |
| 发明（设计）人： | 陈鲁;白园园;马砚忠;张嵩 | 申请（专利权）人： | 深圳中科飞测科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/17 | 分类号： | G01N21/17 |
| 代理公司： | 上海知锦知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31327 | 代理人： | 高静 |
| 地址： | 518109 广东省深圳市龙华区大浪街*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种检测设备及检测方法，其中，检测设备包括：合光元件，用于使所述泵浦光和第二检测光在到达待测物之前具有公共路径，经过所述公共路径的光束为组合光，所述组合光中心轴线的入射角为锐角；位置探测器，用于探测所述第一光束，并根据所述第一光束在位置探测器感光面形成的光斑位置确定所述待测物表面的高度；探测组件，用于探测所述第二光束，并根据所述第二光束的光强检测所述待测物的结构信息。所述检测设备能够通过组合光倾斜入射至待测物表面并结合位置探测器能够实现待测物表面高度的检测，并利用探测组件实现待测物结构信息的检测；同时第二检测光和泵浦光具有公共路径能够简化光路，提高集成度。 | ||
| 搜索关键词： | 检测 设备 方法 | ||
【主权项】：
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