[发明专利]一种分段式回转扫描微孔阵列加工方法有效
| 申请号： | 202110315682.5 | 申请日： | 2021-03-24 |
| 公开（公告）号： | CN113020820B | 公开（公告）日： | 2022-01-28 |
| 发明（设计）人： | 王聪;康涛;段吉安 | 申请（专利权）人： | 中南大学 |
| 主分类号： | B23K26/382 | 分类号： | B23K26/382;B23K26/06;B23K26/064;B23K26/082;B23K26/70 |
| 代理公司： | 长沙轩荣专利代理有限公司 43235 | 代理人： | 李崇章 |
| 地址： | 410000 湖南*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种分段式回转扫描微孔阵列加工装置及其加工方法，装置包括高重频超快激光器、反射镜、光阑、物镜、激光振镜、复合运动平台和旋转台。本发明的方法是利用高重频超快激光器产生飞秒量级超快脉冲，通过设定的激光路径穿过显微物镜到达工件，同时工件被夹具固定在高精度电控旋转台上，通过复合运动平台带动旋转台的径向平移以及周向旋转的配合，结合分段式加工算法，最终稳定、均匀、高效且大面积地加工出微孔阵列。本发明创新性地提出分段式算法，能够在保证每段回转加工时稳定性和微孔阵列均匀性的同时又高效地完成了大面积部分的加工；加工激光功率恒定，只需利用计算机程序简单控制平台运动即可一次性完成加工，操作简单。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 段式 回转 扫描 微孔 阵列 加工 方法 | ||
【主权项】：
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