[发明专利]一种MPCVD金刚石高效合成工艺及其装置有效
| 申请号： | 202110307373.3 | 申请日： | 2021-03-23 |
| 公开（公告）号： | CN113058506B | 公开（公告）日： | 2022-05-20 |
| 发明（设计）人： | 刘宏明;林琳 | 申请（专利权）人： | 湖州中芯半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | B01J3/06 | 分类号： | B01J3/06 |
| 代理公司： | 湖州佳灏专利商标代理事务所(特殊普通合伙) 33476 | 代理人： | 黄永兰 |
| 地址： | 313000 浙江省湖*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及金刚石技术领域，且公开了一种MPCVD金刚石高效合成工艺及其装置，包括基座、施压机构、输送机构、侧压机构和支撑机构，基座的顶面开设有合成槽，基座在合成槽下方的内部开设有冷却槽，合成槽和冷却槽内设置有输送机构，输送机构包括两个螺旋杆，冷却槽内设置有两个插筒，插筒内壁固定连接有插杆，两个螺旋杆上端外壁通过扭簧连接有输送环，输送环顶面固定连接有夹环，夹环套入有连接带，两个连接带远离螺旋杆的一端固定连接一个夹环，通过输送机构的设置，使容器能够在合成槽外部进行放置和取出，得合成工艺中的容器放置和取出更加方便，另外避免使用者身体对装置的探入，从而避免装置故障误启动导致的安全问题，提高了装置的安全性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mpcvd 金刚石 高效 合成 工艺 及其 装置 | ||
【主权项】：
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