[发明专利]一种元件清洁装置及方法在审
| 申请号： | 202110299511.8 | 申请日： | 2021-03-22 |
| 公开（公告）号： | CN112676262A | 公开（公告）日： | 2021-04-20 |
| 发明（设计）人： | 赵烨梁;胡晓 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海高等研究院 |
| 主分类号： | B08B5/02 | 分类号： | B08B5/02;B08B7/00;B08B13/00 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 31002 | 代理人： | 邓琪;熊俊杰 |
| 地址： | 201210 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种元件清洁装置及方法，装置位于超净间内，包括：高压喷射组件，位于超净间的回风地板的上方，包括相互连通的离子风枪和高压气瓶；风道，其具有风道入口和风道出口，风道入口与离子风枪位于同一水平面且共轴相向设置，风道出口位于回风地板的下方；至少一个微粒计数器，位于风道内；抽气过滤组件，包括位于风道出口下方的过滤风机箱体，过滤风机箱体具有入风口和出风口，入风口与风道出口连通，出风口则通向超净间的回风层。本发明的元件清洁装置及方法，通过在风道入口设置阻流板，能够避免大范围湍流的产生，减少微尘的扩散；通过设置控制器，可实现整个清洁流程的自动化，提高清洁效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 元件 清洁 装置 方法 | ||
【主权项】：
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