[发明专利]点火装置和半导体设备有效
| 申请号： | 202110292130.7 | 申请日： | 2021-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN113091055B | 公开（公告）日： | 2023-06-16 |
| 发明（设计）人： | 王立卡;石磊 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | F23D14/02 | 分类号： | F23D14/02;F23D14/46;F23D14/60;H01L21/67 |
| 代理公司： | 深圳市嘉勤知识产权代理有限公司 44651 | 代理人： | 何龙其 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请公开一种点火装置和半导体设备，所述点火装置，包括：点火腔室；第一进气管，具有第一出气口，与所述点火腔室连通，用于向点火腔室内通入第一气体；第二进气管，具有第二出气口，与所述点火腔室连通，用于向所述点火腔室内通入第二气体，所述第一出气口与所述第二出气口相对设置，使得通入所述点火腔室内的第一气体和第二气体形成对冲气流；加热器，所述加热器的加热元件至少围绕所述第一进气管和所述第二进气管靠近所述点火腔室一端的部分长度的外壁设置，用于将通入点火腔室内的第一气体和第二气体加热至点火温度；排气管，用于将所述点火腔室内点火产生的反应气体输送至反应腔室。所述点火腔室能够满足宽流量范围点火需求。 | ||
| 搜索关键词： | 点火装置 半导体设备 | ||
【主权项】：
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