[发明专利]一种直线位移测量装置及方法有效
申请号: | 202110290004.8 | 申请日: | 2021-03-18 |
公开(公告)号: | CN113029002B | 公开(公告)日: | 2021-12-07 |
发明(设计)人: | 于海;万秋华;赵长海;孙莹 | 申请(专利权)人: | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
主分类号: | G01B11/02 | 分类号: | G01B11/02 |
代理公司: | 长春中科长光知识产权代理事务所(普通合伙) 22218 | 代理人: | 高一明;郭婷 |
地址: | 130033 吉林省长春*** | 国省代码: | 吉林;22 |
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摘要: | 本发明属于光电位移精密测量技术领域,设计一种直线位移测量装置及测量方法,包括:读数头、平行光源、滑动导轨、标尺光栅、传输电缆。读数头安装在滑动导轨上,并能够沿着滑动导轨方向移动;标尺光栅位于读数头与平行光源之间,平行光源发出的光线透过标尺光栅上的漏空标线,并将标线的图案映射到读数头上。读数头通过识别标线的图案,采用双图像传感器互为备份的技术实现具有抗污渍能力的直线位移测量。测量得到的数值将通过传输电缆输出。本发明能够免疫污水、灰尘等污渍,具有较高的可靠性能。 | ||
搜索关键词: | 一种 直线 位移 测量 装置 方法 | ||
【主权项】:
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