[发明专利]电子束引出窗及包含其的电子束发生器在审
| 申请号： | 202110278015.4 | 申请日： | 2021-03-15 |
| 公开（公告）号： | CN112863978A | 公开（公告）日： | 2021-05-28 |
| 发明（设计）人： | 戴志敏;何子锋;周大勇;杨永金;黄建鸣;王永其;吴新时;林俊 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海应用物理研究所 |
| 主分类号： | H01J37/06 | 分类号： | H01J37/06;H01J37/07 |
| 代理公司： | 上海弼兴律师事务所 31283 | 代理人： | 杨东明;何桥云 |
| 地址： | 201800 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种电子束引出窗及包含其的电子束发生器，该电子束引出窗包括：薄膜；窗体，窗体的中部设置有窗口；至少一个第一格栅单元，第一格栅单元包括第一格栅槽；至少一个第二格栅单元，第二格栅单元包括第二格栅槽，第一格栅单元与第二格栅单元间隔设置，且均位于窗口上，第二格栅单元相对于第一格栅单元沿扫描方向被配置于窗口的远端。该电子束引出窗利用了近端第一格栅槽长度短的优点，便于薄膜上的热量快速传导至窗体，同时，窗口被第一格栅单元和第二格栅单元分割，使得第二格栅槽的长度变短，有利于第二格栅单元中部的热量传导至窗体的边缘，延长薄膜及电子束引出窗的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 电子束 引出 包含 发生器 | ||
【主权项】：
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