[发明专利]一种基板侧面清洗装置及清洗方法在审
| 申请号： | 202110262201.9 | 申请日： | 2021-03-10 |
| 公开（公告）号： | CN113000439A | 公开（公告）日： | 2021-06-22 |
| 发明（设计）人： | 蒋新;刘斌;施利君;宋金林 | 申请（专利权）人： | 苏州晶洲装备科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B1/02 | 分类号： | B08B1/02;B08B11/04 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 胡彬 |
| 地址： | 215555 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及基板制造技术领域，具体公开了一种基板侧面清洗装置及清洗方法。用于清洗基板的侧面，包括传动组件和清洗组件；传动组件用于带动基板移动；清洗组件包括成对设置的滚刷轴，滚刷轴垂直基板移动方向延伸，且设于传动组件的两侧，滚刷轴上转动连接有滚刷，滚刷能与基板的侧面相抵接，且滚刷能够正向和反向旋转。该方法在滚刷开始与基板的侧面接触/脱离时，滚刷与基板的侧面相接触位置上，滚刷转动的切线方向与基板移动方向相同/相反；借助转动方向可变的滚刷能使装置在完成侧面清洗操作的同时，还能保证基板加工的良品率；借助上述的清洗方法能够有效降低基板破碎风险的同时，还能减缓滚刷的磨损速度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 侧面 清洗 装置 方法 | ||
【主权项】：
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