[发明专利]双向多模态超声键合换能器在审
| 申请号： | 202110247345.7 | 申请日： | 2021-03-05 |
| 公开（公告）号： | CN113019871A | 公开（公告）日： | 2021-06-25 |
| 发明（设计）人： | 隆志力;陈子田;赵恒;叶书苑 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学（深圳） |
| 主分类号： | B06B1/06 | 分类号： | B06B1/06;H01L21/67 |
| 代理公司： | 深圳市千纳专利代理有限公司 44218 | 代理人： | 陈培琼 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市南*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种双向多模态超声键合换能器，其包括劈刀、变幅杆、预压螺钉、第一结构压电陶瓷组、第二结构压电陶瓷组和中间块，中间块的两侧对称设有安装凸缘，整体通过安装凸缘与工作台固定连接，而安装凸缘恰好位于振动节点位置，使得振幅尽可能小，有效减小超声键合换能器向工作台传递的振动，从而减小键合系统工作时产生的噪声，同时也保证超声键合换能器的正常工作；而且工作时，具有三种纵振工作模态和一种弯振工作模态，各工作模态可以分时被单独激发，通过对各模态的综合利用，可以实现比传统超声键合换能器更优的键合质量和更高的键合效率；另外通过梯形限位块能对劈刀进行快速精确限位，给劈刀安装带来方便。 | ||
| 搜索关键词： | 双向 多模态 超声键合 换能器 | ||
【主权项】：
暂无信息
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