[发明专利]一种基于计算机辅助用晶片干涉检测设备在审

专利信息
申请号: 202110243312.5 申请日: 2021-03-05
公开(公告)号: CN113030117A 公开(公告)日: 2021-06-25
发明(设计)人: 徐健 申请(专利权)人: 苏州贝依泽服饰有限公司
主分类号: G01N21/95 分类号: G01N21/95;G01N21/45;G01N21/01
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 215011 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种基于计算机辅助用晶片干涉检测设备,包括基座,所述基座的顶面上设有用于夹持晶片的夹持机构,所述夹持架构能够翻转和摆动,所述夹持架构的右侧的所述基座内设有开口朝上的凹槽,所述凹槽内设有放置机构,所述放置机构用于放置晶片并带动晶片移动,所述基座的顶面上设有支架,本发明能够通过夹持块自动对晶片进行夹持,然后进行翻转,使夹持盘内的晶片与第一感光板同轴,且在旋转块翻转的同时,遮光罩会进行遮光,干涉检测完成后,夹持盘可以摆动,使晶片与黑布带平行,然后使晶片自动掉落在黑布带上,通过黑布带的移动,带动晶片移动,无需人工手动移动晶片,节省了人力,提高了自动化程度。
搜索关键词: 一种 基于 计算机辅助 晶片 干涉 检测 设备
【主权项】:
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