[发明专利]一种基于计算机辅助用晶片干涉检测设备在审
申请号: | 202110243312.5 | 申请日: | 2021-03-05 |
公开(公告)号: | CN113030117A | 公开(公告)日: | 2021-06-25 |
发明(设计)人: | 徐健 | 申请(专利权)人: | 苏州贝依泽服饰有限公司 |
主分类号: | G01N21/95 | 分类号: | G01N21/95;G01N21/45;G01N21/01 |
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地址: | 215011 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种基于计算机辅助用晶片干涉检测设备,包括基座,所述基座的顶面上设有用于夹持晶片的夹持机构,所述夹持架构能够翻转和摆动,所述夹持架构的右侧的所述基座内设有开口朝上的凹槽,所述凹槽内设有放置机构,所述放置机构用于放置晶片并带动晶片移动,所述基座的顶面上设有支架,本发明能够通过夹持块自动对晶片进行夹持,然后进行翻转,使夹持盘内的晶片与第一感光板同轴,且在旋转块翻转的同时,遮光罩会进行遮光,干涉检测完成后,夹持盘可以摆动,使晶片与黑布带平行,然后使晶片自动掉落在黑布带上,通过黑布带的移动,带动晶片移动,无需人工手动移动晶片,节省了人力,提高了自动化程度。 | ||
搜索关键词: | 一种 基于 计算机辅助 晶片 干涉 检测 设备 | ||
【主权项】:
暂无信息
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