[发明专利]一种薄膜生长方法及装置在审
| 申请号： | 202110236047.8 | 申请日： | 2021-03-03 |
| 公开（公告）号： | CN112962139A | 公开（公告）日： | 2021-06-15 |
| 发明（设计）人： | 刘才 | 申请（专利权）人： | 南方科技大学 |
| 主分类号： | C30B7/00 | 分类号： | C30B7/00;C30B7/14 |
| 代理公司： | 深圳市君胜知识产权代理事务所(普通合伙) 44268 | 代理人： | 徐凯凯 |
| 地址： | 518055 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开一种薄膜生长方法及装置，其中，所述装置包括溶液持续供给装置，通过管道与所述溶液持续供给装置连通的反应容器，位于所述反应容器下方的磁力旋转加热台，设置在所述反应容器内部的旋转样品托，设置在所述旋转样品托上的衬底，所述旋转样品托上设置有第一扰流结构。本发明通过引入设置有第一扰流结构的旋转样品托和溶液持续供给装置，所述第一扰流结构可对反应前驱体溶液的流场和前驱体浓度分布进行调控；所述溶液持续供给装置持续为溶液生长系统补充生长所需原料，维持薄膜最佳生长环境，精细调控薄膜生长动力学过程，使得所生长薄膜材料的晶体质量得到质的提升，对薄膜形貌与尺寸实现精细化调控。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜 生长 方法 装置 | ||
【主权项】：
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