[发明专利]裂纹检测方法在审
| 申请号： | 202110205586.5 | 申请日： | 2021-02-24 |
| 公开（公告）号： | CN113325000A | 公开（公告）日： | 2021-08-31 |
| 发明（设计）人： | 中村胜 | 申请（专利权）人： | 株式会社迪思科 |
| 主分类号： | G01N21/91 | 分类号： | G01N21/91;G01N21/95;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 乔婉;于靖帅 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供裂纹检测方法，在通过照射激光光线而在被加工物的内部形成改质层时，能够容易地检测裂纹是否适当地形成。裂纹检测方法包含如下的工序：裂纹形成工序，将对于具有第一面和与第一面相反的一侧的第二面的板状的被加工物具有透过性的波长的激光光线聚光点从被加工物的第一面定位于内部而呈线状照射，在被加工物的内部形成改质层，并且形成从改质层向第二面侧延伸的裂纹；涂料涂覆工序，在第二面上涂覆涂料；以及裂纹检测工序，探查涂料被呈线状排斥的部位来检测裂纹。 | ||
| 搜索关键词： | 裂纹 检测 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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