[发明专利]反射微镜阵列的测试方法及测试装置有效
| 申请号： | 202110202684.3 | 申请日： | 2021-02-23 |
| 公开（公告）号： | CN113341304B | 公开（公告）日： | 2023-04-25 |
| 发明（设计）人： | 邓杨春;王雅雄;魏仁龙;赵团伟 | 申请（专利权）人： | 歌尔光学科技有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/308 | 分类号： | G01R31/308;G01R31/28 |
| 代理公司： | 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287 | 代理人： | 王韬 |
| 地址： | 261031 山东省潍坊市高新区清池街*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开一种反射微镜阵列的测试方法及测试装置，包括以下步骤：提供一光源设备，所述光源设备向反射微镜阵列的无微镜阵列区域发出预设波长的检测光束，通过盖玻璃反射将反射微镜阵列与检测光束垂直，平移反射微镜阵列，将所述检测光束所形成的激光光斑调整到反射微镜阵列的微镜阵列区域，形成闪耀光栅的二维衍射光斑；以及根据所述闪耀光栅的参数生成反射微镜阵列的偏转角度的测试结果。本发明通过采用光源设备向反射微镜阵列发出检测光束，将反射微镜阵列看成一个闪耀角为偏转角，光栅常数为微镜尺寸的二维闪耀光栅，通过计算闪耀光栅的参数，获得反射微镜阵列的检测结果。 | ||
| 搜索关键词： | 反射 阵列 测试 方法 装置 | ||
【主权项】：
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