[发明专利]一种用于燃料电池金属双极板的薄膜及其制备方法有效

专利信息
申请号: 202110200615.9 申请日: 2021-02-23
公开(公告)号: CN112803033B 公开(公告)日: 2023-10-20
发明(设计)人: 李栓;汤思遥;杜军钊;李彤岩;李星国;李松 申请(专利权)人: 北京大学;北京华胜信安电子科技发展有限公司
主分类号: H01M8/0228 分类号: H01M8/0228;H01M8/0206
代理公司: 北京东正专利代理事务所(普通合伙) 11312 代理人: 刘瑜冬
地址: 100871*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明公开了一种用于燃料电池金属双极板的薄膜及其制备方法,该薄膜由氧化物掺杂氮化物组成,氧化物为Al2O3、TiO2、ZrO2、SiO2中一种或两种以上物质混合而成,氮化物为CrN、TiN、NbN、ZrN中的一种;该薄膜中氧化物的百分含量为1‑5at%,其余为氮化物。该方法包括如下步骤:步骤一:清洗金属衬底,打磨金属单质靶材;步骤二:将金属衬底、金属单质靶材和氧化物靶材安装于磁控溅射镀膜机内,进行预溅射;步骤三:将金属衬底接入负偏压,通入氮气和氩气;步骤四:进行磁控溅射,金属衬底表面沉积氧化物和氮化物,形成薄膜。本发明的薄膜具备优异的耐腐蚀性和导电性并且寿命长,疏水性佳,各项指标均满足DOE标准。
搜索关键词: 一种 用于 燃料电池 金属 极板 薄膜 及其 制备 方法
【主权项】:
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