[发明专利]用于传感器设备的微机械构件及用于传感器设备的微机械构件的制造方法在审
| 申请号： | 202110184987.7 | 申请日： | 2021-02-10 |
| 公开（公告）号： | CN113247856A | 公开（公告）日： | 2021-08-13 |
| 发明（设计）人： | J·克拉森 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/00 | 分类号： | B81B7/00;B81B7/02;B81C1/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 郭毅 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明涉及一种用于传感器设备的微机械构件，其具有：具有衬底表面(10a)的衬底(10)；布置在所述衬底表面和/或布置在至少部分覆盖所述衬底表面的至少一个中间层上的至少一个定子电极，至少一个定子电极分别由第一半导体层和/或金属层形成；可调节布置的至少一个执行器电极，至少一个执行器电极分别由第二半导体和/或金属层(P2)形成；跨越至少一个定子电极和至少一个执行器电极的膜片，膜片具有定向远离所述至少一个定子电极和至少一个执行器电极的膜片外侧(18a)，膜片外侧由第三半导体层和/或金属层(P3)形成；在膜片外侧上突出的加固结构和/或保护结构(54)由第四半导体层和/或金属层(P4)形成。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 传感器 设备 微机 构件 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于罗伯特·博世有限公司，未经罗伯特·博世有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110184987.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
