[发明专利]电子级三氟化氯的包装钢瓶的处理方法有效
| 申请号： | 202110142238.8 | 申请日： | 2021-02-02 |
| 公开（公告）号： | CN113005389B | 公开（公告）日： | 2023-05-23 |
| 发明（设计）人： | 李嘉磊;林德荣;陈施华;刘俊仪;于睿洁;杜勇 | 申请（专利权）人： | 福建德尔科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C8/08 | 分类号： | C23C8/08 |
| 代理公司： | 厦门原创专利事务所(普通合伙) 35101 | 代理人： | 徐东峰 |
| 地址： | 364204 福建省龙岩*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种电子级三氟化氯的包装钢瓶的处理方法，包括以下步骤：S1，对包装钢瓶内部气体进行抽真空，然后充装一定量纯度99％以上的高纯氟气进行氟气钝化处理；S2，对包装钢瓶内气体进行分析无其他杂质气体生成，则进入步骤S3，否则进入步骤S1重复处理；S3，对包装钢瓶内部气体进行抽真空处理，然后充装一定量纯度99.9％以上的高纯三氟化氯进行二次钝化处理；S4，对包装钢瓶内气体进行分析无其他杂质气体生成，则判定处理合格包装钢瓶内部已经形成了一层致密的三氟化氯钝化膜，并进入步骤S5，否则进入步骤S3重复处理；S5，对包装钢瓶进行金属离子检测，若金属离子超标，则重复S3重新处理，金属离子分析合格后，抽空备用。 | ||
| 搜索关键词： | 电子 氟化 包装 钢瓶 处理 方法 | ||
【主权项】：
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